硅材料市场急剧扩大,资源匮乏。作为多晶硅的载体,硅芯的大规模生产成为急需解决的问题。我国目前的硅芯生产仍主要依靠硅芯炉,对硅芯炉加热器结构的改进是提高生产效率的一种途径。长期以来,感应加热器的设计与优化都建立在经验之上,确定合适的加热器线圈往往要经历设计、制造、试验、调整多次循环往复的过程,各种成本投入巨大。通过数值模拟的方法,了解加热器线圈结构产生的效果及影响,可省去多次制造和试验的过程,用于指导设计,可行且必要。　　 本文以硅芯炉加热器为对象,使用有限元软件ANSYS,首先对感应加热器线圈相关电磁效应进行仿真,同时,根据感应加热器线圈基本形状给出相关仿真研究,结果证明采用数值模拟方法分析电磁场可行、有效,可用于指导加热器大小、截面等的选型设计。　　 在此基础上,分两种类型对三种多工作位多芯硅芯炉感应加热器线圈结构进行仿真研究。根据需求从设计入手,建立了三维感应加热器线圈的实体模型,分析了线圈结构对感应磁场分布的影响,以及有限元网格划分对运行结果的影响,得到相关结论。　　 最后,将多芯硅芯炉感应器的模拟结果与实验测试结果进行了对比,结果良好吻合,数值模拟分析方法对于多芯硅芯炉用感应加热器的优化设计与调试具有很好的实用意义。