随着微波硫灯的推广，国际光源科技领域对微波硫等离子体的研究更加重视。在微波硫等离子体的研究中，能量平衡过程的研究具有重要意义。通过理论模型的研究，可以对辐射过程进行模拟，并通过对不同能量传输形式的计算和分析，解析出整个放电过程维持和发光的机制，从而为微波光源系统设计合理的参数条件，实现最优化设计。 　　本论文的第一章阐述了研究背景和工作思路。 　　第二章在Korber模拟光谱能量分布时所使用的矩形谱线轮廓的基础上，通过Voigt轮廓对谱线放宽的轮廓进行了改进，计算得到的光谱能量分布与实验测量的结果相符。我们对谱线放宽的机理进行了分析，验证了压力放宽在光谱辐射过程中的主导地位。 　　第三章和第四章在建立能量平衡方程的基础上，分别求解方程中电导率、热导率等参数，并对方程进行迭代计算，得出能量平衡方程中的电磁能量输入密度、热传导损耗和辐射能量损耗项与温度轮廓的最终迭代结果。 　　第五章测定了三条原子谱线的相对强度，利用等离子体诊断的方法，实验测定了硫等离子体的温度轮廓，并对计算结果进行验证。 　　第六章是对微波硫等离子体能量平衡过程研究的分析和总结。