【摘 要】
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激光扫描声学显微镜（Scanning Laser Acoustic Microscope，简称SLAM）是声显微技术的一种形式。作为一种无损检测仪，它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用。由于声图像
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激光扫描声学显微镜（Scanning Laser Acoustic Microscope，简称SLAM）是声显微技术的一种形式。作为一种无损检测仪，它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用。由于声图像的成像机理与光像不同，随机噪声、衍射条纹和声斑干扰了对获得声图像的分析。本文讨论了在传统SLAM系统的基础上，利用获得的被测样品声学幅度信息，针对声波传播、声光互作用、光路及解调这四个过程对信号影响的进行研究，提出了对声学幅度信号进行相位补偿和线性滤波，采用计算机数值运算，以提高图像质量的方法。给出了利用该方法的实验结果以及在集成电路引线焊接质量无损检测中的应用结果。
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