在航空、航天、国防等很多领域,都广泛应用到铝镁合金,将化学机械抛光(CMP)技术引入铝镁合金的加工技术中,实现对Al-Mg合金表面的极高精度、近无缺陷或杂质的超精密加工,得到高精度、低表面粗糙度和无损伤的表面,对于以上领域的应用具有重大意义。铝镁合金表面抛光难度大。本文主要研究目的是如何降低铝镁合金的表面粗糙度,这就需要研究如何加快CMP过程质量传输,使CMP过程的机械作用和化学作用达到平衡。内容如下:(1)对Al-Mg合金化学机械抛光机理进行分析,奠定表面粗糙度研究的基础。(2)运用无氧化剂碱性抛光法,制定适合铝镁合金特点的抛光液,从而降低铝镁合金表面粗糙度。实验分析Al-Mg合金化学机械抛光中表面活性剂浓度和磨料浓度、pH值、压力、转速、流量对Al-Mg合金表面状态的影响。(3)从铝镁合金的腐蚀原理入手,为保护合金表面,采取临时防护的方法,验证并得到较好的效果。(4)为了降低表面粗糙度和平整化效果,对如何加快CMP过程质量传输的因素着重进行分析,提高质量传输速率,使CMP过程中的机械作用和化学作用达到平衡。