对于光学平面面形的检测,目前普遍采用的干涉测量法需要一块高精度的参考平面作为标准,是一种相对检测方法,其测量精度受到参考面精度限制。为了获得被测平面的绝对面形分布,提出了一种基于两平晶的平面绝对检验方法,即在菲索干涉仪上利用两块平晶的三个表面实现平面的绝对检验测量。该方法仅需要两块平晶就可以完成垂直方向上的面形测量,同时获得高频与低频信息。再通过增加一次旋转测量,就可获得整个面的面形分布。由于仅需要两块平晶就可实现平面绝对检验,因此可将该方法应用到Φ600mm大口径平面标定以及干涉仪参考面校准等场合。此外,将绝对检验思想引入五棱镜使用角测量中,并设计了两镜互检法与三镜互检法实现五棱镜使用角的绝对检验。利用基于两平晶的平面绝对检验法,获得了两块平晶三个表面的绝对面形分布,给出了实验结果与误差分析,测量精度优于λ/500。将该方法实际应用于Φ600mm大口径平面测量。为了验证该方法的正确性,利用Zygo自带的三面互检程序的实验结果与之比对,表明面形测量结果在垂直方向上相差0.001λ(rms),在水平方向上相差0.003λ,(rms)。在五棱镜使用角测量实验中,分别使用两镜法与三镜法测量了五棱镜的使用角,获得了五棱镜使用角的绝对值,两种方法测量结果偏差小于0.2″。