本文利用已有的工业化经验和磁控溅射技术，以聚四氟乙烯(PTFE)为靶材，在PET基底上沉积制备氟碳膜防水透湿织物。对不同的工艺条件(放电功率、真空度、处理时间)进行了探索。 利用扫描电镜(SEM)观察了不同功率、压力和时间下对氟碳膜表面形貌的影响，系统研究了氟碳膜表面结构随功率和压力的变化规律，发现功率提高使得氟碳膜颗粒分布均匀，结合更加紧密，而提高压力，氟碳膜的颗粒更加密集，并且溅射条件不同，粒子的形态、粒子间构成的介观结构也不相同。随着时间的增加，成膜颗粒先连成岛，然后勾联成膜，没发现单分子层生成。 利用扫描电镜(SEM)、光电子能谱(XPS)对溅射沉积膜的均匀性进行了研究，发现溅射沉积的氟碳膜并不完全均匀，这可能和实验设备和实验操作有关。对溅射膜均匀性的研究未见报道。 利用光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)、X-ray衍射仪研究了成膜机理及氟碳膜表面形貌，研究了PET基底上氟碳膜的纳米自组装问题，发现在一定的条件下，氟碳膜不都是无定型的，而是有一定的有序性和结晶，并能形成纳米自组装结构。