【摘 要】
：
TiO2具有金红石、锐钛矿和板钛矿三种晶型，在一定温度和压力下可发生晶型的转变。TiO2薄膜在可见光区透射率高，折射率大，是非常重要的光学膜；TiO2可作为多种传感器材料，不仅可以用于湿敏和压敏元件，也可用于检测多种气体，特别是O2。本论文研究了采用直流磁控反应溅射法制备的TiO2氧敏薄膜。在本底真空2.4×10-3pa，溅射电压420V，溅射电流0.3A，氧分压0.17Pa，溅射总气压1.5Pa
论文部分内容阅读
TiO2具有金红石、锐钛矿和板钛矿三种晶型，在一定温度和压力下可发生晶型的转变。TiO2薄膜在可见光区透射率高，折射率大，是非常重要的光学膜；TiO2可作为多种传感器材料，不仅可以用于湿敏和压敏元件，也可用于检测多种气体，特别是O2。
本论文研究了采用直流磁控反应溅射法制备的TiO2氧敏薄膜。在本底真空2.4×10-3pa，溅射电压420V，溅射电流0.3A，氧分压0.17Pa，溅射总气压1.5Pa条件下制得TiO2薄膜，未退火时为无定型结构，300℃退火后为锐钛矿结构，600℃退火后锐钛矿与金红石结构共存，1000℃退火后完全转变为金红石结构。经1000℃退火后的样品，在一定工作温度下，随氧分压增加灵敏度逐渐升高；工作温度越高，灵敏度增加越缓慢；200℃下灵敏度随氧分压增加最快，且具有最高的平均灵敏度。计算得到氧分压为0.405、0.576和0.692时的激活能分别为0.391eV、0.449eV和0.498eV，此激活能的结果较小，表明该TiO2氧敏薄膜的温度稳定性得到了一定的改善。该氧敏薄膜的导电影响因素较为复杂，Ti3+(int)，Ti4+(int)和V2+O均存在且都对导电机制的形成起到作用，而Ti3+(int)作用最为显著。
在制备TiO2薄膜时，随着pO/pAr减小和氧气压的增加，得到样品的氧敏特性较好；1000℃退火后的样品较600℃退火后的样品敏感特性好，认为较高的退火温度可促使金红石相TiO2的生成，从而得到较为理想的氧敏相TiO2。
其他文献
自宋代以来，《韩诗外传》“与传经无关”说几乎成为定论。作者通过对现存文献的梳理与谨慎思辩，以为“无关传诗”说的错误是由于孤立地认识研究对象而造成的，它的要害在于脱离了古代诗歌发生发展的客观实际来研究汉代传诗著作的特点。众所周知，诗歌在其发生发展的初期，是兼具宗教、教育、知识载体、政治教化等功能于一身的综合体，脱离了春秋时期的诗歌这一功能来研究《诗经》及汉代研究《诗经》的著作，就认识论来说是静止
本文以“表-里-值”小三角理论为研究思路，辅以配价理论、认知语言学理论、语法化等多种理论和方法，对“(V+O1)+O2”结构进行多角度的描写和论述。本文考察了“(V+O1)+O2”结构近些年来的发展情况，考察了“(V+O1)+O2”结构的形式表现和宾语O1与O2，考察了“(V+O1)+O2”结构中宾语O2的语义类型，考察了“(V+O1)+O2”结构中动宾组合“V+O1”与宾语O2的语义匹配情况
随着国际上对自然工质CO跨临界循环研究的深入,扩展CO跨临界制冷循环系统的应用领域,提高系统的循环效率,加快其向实用化迈进是当前研究的关键问题.本文通过理论分析,计算机模拟和实验研究相结合,重点对超临界CO特性以及跨临界循环系统开展了研究.论文结合当量温度法,针对空调系统的运行工况,分析了采用内部热交换器、提高压缩机效率、利用膨胀机代替节流阀、双级压缩以及优化循环方式等措施对系统效率的提高幅度.通
化石燃料燃烧排放出的大量温室气体CO2所造成的温室效应，对气候环境的影响已引起了世界各国的高度关注。O2/CO2燃烧技术，作为一种全新理念的燃烧方式，可实现低成本分离回收CO2、以便进一步利用或封存，已引起了各国研究者的高度重视。由于燃烧气氛的转变，燃料燃烧的污染物排放，特别是SO2的析出特性将存在差异。炉内喷钙，作为一种传统高温脱硫方式，在脱硫过程中往往由于石灰石的烧结和孔堵塞现象使得钙利用率较
受地域跨度广、地形和线路复杂等客观条件制约,列车面临的运行环境复杂多变,不同线路和阶段的轨面状态都可能发生随机变化。为保证列车安全运行,必须对列车运行轨面状态进行识别。本文基于轨面黏着状态特征数据,采用神经网络模型,将轨面黏着特性数据作为输入,对当前轨面状态进行分类识别。本文的研究内容如下:针对现有的轨面识别方法准确率不理想,识别速度较慢的问题,研究了一种基于Adaboost算法的神经网络轨面识别
本文研究内容为考虑高比例的可再生能源及其时空间相关性的电力系统动态经济调度模型。在研究对象上，本文通过对具体可再生能源的应用物理背景和工程背景进行说明，确定了研究风电功率时空间相关性的必要性和重要经济价值；并分析了电力系统经济调度领域，研究该问题的广阔应用前景和实际工程价值。明确了风电功率对于我国能源安全、技术升级和环境保护带来的优势和发展潜力，具有重要的战略价值。 在相关性特征建模上，以风电为
无线传感器网络（WSN）是在特定区域内铺设大量的具有感知能力的传感器，通过收集和传输该区域内的目标信息而形成的一种无线网络，其在环境检测、军事领域、医疗护理、目标跟踪等领域具有重要的应用价值。在实际应用中，WSN 中的传感器节点数量有限、能量不能补充，因此在保证网络工作质量的前提下，如何通过覆盖机制和路由协议构建合理的网络拓扑结构，降低网络能量消耗、延长网络寿命是有待解决的首要问题。遗传算法作为求
特高压交流输电线路相较于超高压及以下电压等级的线路引起的电晕效应问题更加突出，也是特高压工程建设中需要重点考虑的指标之一，尤其是导线电晕产生的无线电干扰。我国西北高海拔地区天气频发沙尘，沙颗粒的存在会影响输电线路的无线电干扰特性，而国内外针对沙尘天气下的输电线路无线电干扰尚未开展研究。本文搭建了一套高海拔地区沙尘条件下输电导线无线电干扰测量系统，利用特高压交流电晕笼，对23种常用分裂导线进行了高频
高压断路器作为最重要的一类电气设备，是电力系统中不可缺少的开关电器之一，因此研究高压断路器是十分必要的。考虑到高压SF断路器的开断特性是衡量断路器性能的重要技术指标，而开断特性的研究涉及到机构动力学、气流场和电场的大量计算，耗时巨大成为喷口优化的瓶颈问题，解决此问题须研究一些有效措施。本文给出了两种措施其一是在介质恢复特性的数值模拟上采用机构动力学、气流场、电场的耦合计算；其二是在耦合数值模拟中采
本文根据研制开发特高压SF断路器的需要，在与河南平高电气股份有限公司合作的“1100kV双断口断路器开断性能及其相关技术研究”项目的平台上，针对SF断路器的工作原理和特点，选取电压等级相对较低的252kV压气式SF断路器作为研究对象，建立适合于SF断路器开断过程的数学模型，计算并分析了小电流情况下灭弧室内部气体流动的规律。并对252kV SF断路器灭弧室内压力特性进行了测量，验证了电弧数学模型及计