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在对超灵敏检漏系统及其校准系统进行性能测试的基础上,用校准系统对超灵敏检漏系统进行了实时校准。课题有着明确的应用背景,它是保证小体积高真空器件长寿命高性能的关键技术,是极高真空技术领域的前沿课题。目前对于漏率低于1×10-13Pa·m3/s量级漏孔的检测技术在国内外研究开展得不多,实时校准更是国内外目前尚待解决和有待标准化的问题。论文的主要结果是:1.对超灵敏检漏系统性能进行了测试,研究了检漏系统的本底及其影响因素,找到了维持良好本底的方法,有效地保持了系统始终处在最佳工作状态。对超灵敏度检漏系统的动态灵敏度、静态检漏灵敏度进行了测试,探索了如何提高和长期保持极限灵敏度应注意的问题。并实际检测了极小漏率的小体积高真空器件。2.测试了超灵敏检漏系统本身所配的渗氦型参考漏孔在动态模式下的离子流强度值,以及静态累积模式下的离子流累积增长斜率,发现静态累积模式下离子流增长斜率实验值并不稳定。不稳定的斜率值对检漏结果的定量产生了重大影响,经过长时间多次实验测试得出了其平均值,奠定了线性外推的基础。指出了用固定漏率参考漏孔校准超灵敏度检漏系统的缺点。3.对超灵敏检漏系统进行实时校准是论文的主要工作,利用微流量参考漏率系统对实时校准进行了详细的实验研究,在通入纯氦气的情况下,利用商用检漏仪对超灵敏检漏系统在10-12Pa·m3/s 10-10 Pa·m3/s漏率范围内进行了实时校准。特别是测试了1%He99%N2混合气体在进入系统后的氦氮含量百分比,并利用它和微流量参考漏率系统对超灵敏检漏系统在10-14 Pa·m3/s 10-12 Pa·m3/s漏率范围内进行了实时校准。证明了线性外推在10-14 Pa·m3/s～10-10 Pa·m3/s范围内仍然相当有效。4.为了在更低漏率范围内对超灵敏检漏系统进行校准,利用含100ppm氦气的氦氮混合气体对超灵敏检漏系统在10-16 Pa·m3/s 10-14 Pa·m3/s漏率范围内进行了实时校准研究,实验表明线性外推在接近10-16 Pa·m3/s漏率时不再有效。同时证明了微流量参考漏率系统能稳定线性可调地提供低至10-15 Pa·m3/s漏率量级左右的漏率。