随着可再生能源的快速发展,光伏发电将会是未来发展研究的重点方向之一,太阳能电池作为光伏发电的核心部分,其光电转化效率是光伏发电技术发展的重要因素。而表面微结构可以有效降低入射光在太阳能电池表面的反射,减少光学损失,从而提高电池的转换效率。本文以蛾眼结构、四棱锥结构、圆柱结构为对象,首先研究了三种均匀结构宽波段的减反射性能,其次在均匀结构的基础上,研究了双混合及多混合结构的宽波段减反射性能,最后研究了基于超薄晶硅电池前表面和背表面的均匀与混合结构的减反射和陷光性能,具体内容如下:1、通过时域有限差分法,对基于无限厚度体硅的均匀蛾眼结构、均匀四棱锥、均匀圆柱结构进行了模拟,分析了结构参数对反射率的影响规律。结果表明:在300~1200 nm波段,对于均匀蛾眼结构(均匀四棱锥结构)而言,当底面直径(底面宽度)不变时,随着高度的增大,其平均反射率不断变小;当高度不变且不小于100 nm时,随着底面直径(底面宽度)不断增大,其平均反射率先减小后增大;均匀蛾眼结构和均匀四棱锥结构最佳的平均反射率均可以低于1%,而均匀圆柱结构的减反射性能较差。2、在均匀结构基础上,首先,对基于无限厚度体硅的双混合结构进行了模拟,并比较了双混合结构与均匀结构的减反射性能,并从反射率曲线和电场强度分布阐释了双混合结构优异的减反射性能,其次,在减反射性能提高的双混合结构基础上,对三混合结构和四混合结构进行了模拟。结果表明:相比较均匀结构,三种双混合结构在300~1200 nm及400~1100 nm波段的平均反射率可以更低,减反射性能提高;在双混合结构的基础上,三混合蛾眼结构和三混合四棱锥结构在400~1100 nm波段的平均反射率可以更低,减反射性能提高。3、在超薄晶硅太阳能电池的基础上,对双表面的均匀与混合结构进行了模拟。结果表明:三种双表面均匀结构均有较好的减反射和陷光性能,其中,双表面均匀蛾眼结构能实现最佳短路电流密度为28.37 mA/cm~2;在双表面均匀结构的基础上,三种双混合结构对应的短路电流密度可以更高;在双表面的双混合结构的基础上,三混合蛾眼结构和三混合四棱锥结构对应的短路电流密度可以更高;双混合和三混合结构可以实现更好的减反射和陷光性能。