现阶段，我国在多晶硅的生产方面，大部分仍使用改良西门子法，用氢气还原三氯硅烷，在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术，来实现多晶硅的规模化生产。此工艺还包含了还原尾气干法回收系统、四氯化硅氢化等工艺。虽然，此工艺在国内得到广泛应用，但是在多晶硅生产过程中的风险评估和事故防范等方面，经验仍然不足。　　众所周知，氢气、三氯硅烷、二氯硅烷等物料的化学性质非常活泼，且氯硅烷腐蚀性又极强，而且，在整个多晶硅生产工艺中，内环境多为高温高压。这些因素导致多晶硅的生产过程是一个相对高危的过程，如果防范不当，则存在很多可能发生生产事故的隐患，严重威胁着多晶硅企业的发展和员工的生命安全。　　为了能够使更多的业内了解其生产过程中存在的风险及危害，同时，提供一些事故防范的依据，更好的预防事故的发生，提高企业安全生产和事故防范的能力。　　本文以某大型多晶硅生产企业的生产工艺装置为例，参照RBSA（Risk Based Security Assessment）的分析评估方法，结合多年安全生产工作总结的经验，利用风险分析、重大危险源识别以及统计学的一些方法，对多晶硅生产装置中所存在的危险因素和安全风险进行分析，同时结合生产工艺及物料特点和近些年发生的事故情况，从时间、空间、事故的发生原因等多方面进行综合分析，最终，从时空和区域等多角度将多晶硅生产中需要关注的安全防范重点加以分析和总结，并讨论相关防范措施，为多晶硅的安全生产提供支持。