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相移干涉测量技术以其非接触、灵敏度高和重复性好等诸多优势,在光学测量与检测领域具有广泛应用。双波长相移干涉测量技术将双波长全息技术和相移干涉技术相结合,在保证较高的测量精度的基础上,可解决传统单波长测量较大偏差面形时所产生的2π模糊问题,又扩大了干涉测量的量程,因此该方法在光学干涉测量领域具有更广阔的应用前景。本文在对双波长相移干涉的基础理论进行系统研究的基础上,设计了一个不易变形、便于装调的基于全反射棱镜结构的M-Z双波长干涉系统,通过计算分析确定了相关的硬件参数,完成了双波长移相干涉系统的装调,