铁氧体磁性材料具有很高的电阻率，与其它金属磁性材料相比，高频应用时具有涡流损耗小等特点，在通信、仪器仪表和计算机等领域得到广泛的应用。铁氧体属于陶瓷材料，具有硬度高、脆性大等特点，其可加工性较差，加工质量难以保证。与普通磨削相比，超声振动磨削具有减小磨削力、降低磨削热、在保证一定材料去除率的前提下易于获得良好表面质量等技术优势，本文研究超声振动磨削加工铁氧体时工艺条件对加工表面质量的影响，为该技术的实际应用提供技术支持。为分析超声振动磨削加工中材料去除过程，本文在对铁氧体超声振动磨削加工表面微观形貌进行观测分析的基础上，进行了铁氧体的纳米压痕试验和仿真以及显微压痕试验，结合超声振动磨削磨粒运动学分析，研究了磨粒的磨削路径对材料去除的影响。为研究超声振动磨削加工过程中磨削力的变化规律，建立了磨削力预测模型并进行了相关实验验证，通过对磨削力的理论值和实验值进行对比，验证了磨削力模型的准确性，并分析了加工参数变化对磨削力的影响。结合磨削力研究结果，分析了超声振动磨削过程中刀具磨损的主要形式及产生原因。进行了铁氧体超声振动磨削单因素试验和正交试验，研究了主轴转速、磨削深度、横向进给速度和超声振动振幅对表面粗糙度的影响规律。在上述研究的基础上，进行了多元线性回归分析，建立了表面粗糙度预测模型，为铁氧体高表面质量加工工艺参数优选提供了依据。