大气湍流等动态干扰使光波面相位发生畸变，使光学系统的分辨率无法达到其衍射极限，而自适应光学系统使用变形镜对光波面进行动态相位调制，赋予了光学系统能动可变的能力而有效地解决了动态干扰的问题。使用MEMS技术制造的微变形镜由于其体积小，成本低，能耗低，响应快及集成度高等传统变形镜不具备的特点，成为变形镜发展的主流方向。本文对基于MEMS技术的微变形镜的基本理论，加工方法和分析方法作了研究。 在基本理论方面，通过对自适应光学，静电力驱动，弹性梁理论和挤压薄膜阻尼的研究，确定了微变形镜的配置方案；在加工方面对体加工工艺，MUMPs工艺和SUMMiT工艺进行了研究与比较，并选用残余应力小，表面质量好的SUMMiT工艺对8×8的微变形镜阵列原型进行了结构设计与版图设计；在分析方面主要对微变形镜单元的静态特性，模态特性，瞬态响应，频率响应和8×8规模的微变形镜阵列的远场光学模型进行了研究，确定了微变形镜的性能参数。 本文所设计的微变形镜的冲程约为0.7um，响应时间为2.26μs，拉入电压约为49V，谐振频率为81kHz，基本符合自适应光学系统的要求。 最后，针对本文所设计的微变形镜在大规模阵列布线和拉入电压两个方面存在的问题，提出了进一步研究的建议。