【摘 要】
：
三轴微加速度计是惯导系统的重要组成部分,在武器装备、惯性导航和汽车安全等领域得到越来越广泛的应用。国内研制的微加速度计主要为梳状结构,采用干法刻蚀技术加工,确保加工精度和工艺一致性的难度较大。本文设计了一种采用各向异性湿法腐蚀技术加工的单片集成三轴微加速度计,该加速度计具有灵敏度较高、工艺简单等特点。本文主要围绕三轴微加速度计的工作原理、结构设计、制作工艺、误差机理和性能测试开展研究,主要内容如下
论文部分内容阅读
三轴微加速度计是惯导系统的重要组成部分,在武器装备、惯性导航和汽车安全等领域得到越来越广泛的应用。国内研制的微加速度计主要为梳状结构,采用干法刻蚀技术加工,确保加工精度和工艺一致性的难度较大。本文设计了一种采用各向异性湿法腐蚀技术加工的单片集成三轴微加速度计,该加速度计具有灵敏度较高、工艺简单等特点。本文主要围绕三轴微加速度计的工作原理、结构设计、制作工艺、误差机理和性能测试开展研究,主要内容如下:1.设计了单片集成三轴微加速度计的整体结构,并对其结构设计理论进行了系统研究,其中包括
其他文献
对于多品种、小批量的用户化设计特征极强的生产企业,如何在SAP R/3系统环境下,结合精益生产和精益物流理论、缩短提前期,减少和消除生产中的各种浪费、降低产品成本,一直是这些企业面对的难题。本论文分析西子公司电机生产中的占材料成本25%的线圈生产过程存在的铜线浪费问题,并从SAP主数据设计及BOM设计、生产主计划、生产过程工装模具设计、供应链管理等方面进行了优化和改进。有效的降低了铜线的浪费,提高
制造业信息化已经成为新世纪制造企业面临的重大课题,是我国实现信息化与工业化融合的重要举措。制造企业在信息化历程中普遍面临着技术信息化PDM与管理信息化ERP的集成问题。BOM的技术和管理双重性使其成为两者信息集成的关键,因此解决BOM映射问题成为制造企业实现集成目标的重要手段。本文的研究内容围绕着EBOM映射到MBOM问题展开。分析了BOM映射技术的应用现状和研究成果,通过根源分析研究BOM映射问
医院信息系统是建立在医院的医疗临床业务,行政管理业务,医院设施设备运行管理三大业务模块基础上,为实现医院数字化、信息化、智能化的一个综合系统平台。但是到现在为止,传统的医院信息系统仅仅只提供了一些常规的信息化管理,随着医院信息化程度的不断提高,渐渐要求医院信息系统能够朝着智能性的方向发展。Agent是目前人工智能领域中的一个前沿方向,它的发展给计算机的智能化进步提供重要的技术支持。因为Agent它
随着压力设备的广泛应用以及复杂性的增加,传统的压力仪表和采用的人工记录的方法已经不能适应现代化生产的需要,智能压力仪器越来越受到人们的重视。本文设计和研究了基于ARM (Advanced RISC Machines)的智能压力仪,可学习和分析采集的工业制件压力信号,从而检测出工业制件是否合格。本文首先分析了人工神经网在压力记录和分析时的应用。采用神经网络可使系统训练和学习样本,从而对要识别的压力信
随着临床流行病学的发展,以此为基础的循证医学迅速发展起来,与此同时适应循证医学成为了电子病历这一重要临床资料的必然发展方向。电子病历是应用计算机技术实现的信息化病历,电子病历是基于一个特定系统的电子化病人记录,该系统提供用户访问完整准确的数据、警示、提示和临床决策支持系统的能力。这就要求电子病历能够体现规范系统的治疗档案、准确详尽的病历记载、方便快捷的查询统计。但是当前的查询技术主要基于关键字匹配
脑卒中是我国常见病、多发病，此类病人生存质量降低，给家庭和社会都带来了沉重的负担。功能性电刺激疗法是近年来治疗因脑卒中而下肢肌肉丧失功能的患者的主要疗法，但目前市场上该类仪器采用的信号源时序单一，且尚未有模拟人体肌肉收缩不同时序予以相应功能性电刺激的治疗仪。在前人对正常人步行时下肢四块肌肉收缩时序的研究基础上，对模拟人步行时四块肌肉收缩的四通道八路不同时序的脉冲刺激信号进行设计，并将其放大，设计组
近几年来,随着气象探测技术的发展和探测业务的扩展,气象观测种类和观测设备日益增多,观测业务逐步由人工向自动化转变。以新一代天气雷达、自动气象站、GPS、闪电定位为代表的新型气象探测业务的开展,传统的以小时级为观测频次的观测方式正在向分钟级观测频次的方向发展,以县站为发报单位的发报方式正在向乡、镇一级发展。由此而引发的气象探测资料的快速增加,对省级气象通信系统的响应能力提出了更高的要求,省级气象通信
远程医疗监护特别是远程心电监护对防治心血管疾病有着十分积极的意义,对提高人们的生活质量,促进社会健康协调发展有着极为重要的作用,是近年来国际上共同关注和迅速发展的一个热点问题。 本文在国内外远程心电监护研究成果的基础上,采用“心电信号采集终端--监护基站--远程监护中心”的三层结构框架,并在此框架上结合大量实际的设计经验,设计了一个完整、适用、先进的远程心电监护系统。 本文所作的主要工作如下:
陀螺经纬仪是根据陀螺力学原理制成的精密定向仪器，广泛应用于军事、测绘、矿山开采等领域。我国陀螺经纬仪研制、生产的总体水平与国外相比还有一定差距。为了促进我国陀螺经纬仪的研制，提高其技术水平，统一其检验评价标准，论文对影响陀螺经纬仪测量的各种因素进行了分析，对其检定方法进行了较为系统的研究。论文对陀螺经纬仪工作的基本原理、结构、分类等做了简要介绍；分析了影响陀螺经纬仪测量的因素，确定了陀螺经纬仪需要
温度是重要的热工参数之一,温度的控制和设定是工业生产安全和产品质量的保证,在许多场合都要求进行温度自动监测与控制。红外测温技术能够实现这一要求,它具有测温范围广,响应速度快,灵敏度高、准确性强等优点,可实现非接触无损测量,应用极为广泛。本文基于普朗克定律研究并设计红外测温仪,基于无线通信模块实现PC机与红外测温仪之间的数据传输,并在C++ Builder集成平台下,开发了上位机管理软件,并最终实现