加速度传感器在微系统领域里占有非常重要的地位,论文分析了开环电容式混合集成加速度传感器的基本工作原理,利用上华提供0.5μm DPDM混合信号工艺参数完成了电路和版图的设计。开环电容式加速度传感器接口电路采用了斩波稳定技术,由时序发生器、偏置电压/电流源、低输入电容缓冲器、前级放大器、相关双取样、取样解调、后级放大和滤波这些部分组成。论文中对各模块的在整体电路中的作用和性能参数给出了详细的介绍。同时给出了各模块电路的设计方法和电路图,利用上华提供的工艺参数对整体电路进行了模拟并给出主要的性能指标如下:电源为5V单电源、量程为±40g、灵敏度为50mV/g、噪声达到100μg/ Hz、输出平衡电位为2.5V。其中电路的灵敏度和输出平衡电位都是可调的,这样可以明显地提高成品率和应用范围。根据版图设计规则和一些版图设计技巧完成了整体版图的设计。重点地分析一些版图中要注意的问题并且给出了解决措施。为了提供比较和对差分电容结构的微小电容偏差进行补偿,共设计三个版图。另外,在混合信号集成中,一个非常重要的问题就是需要使微机械结构的压焊点和集成电路模块的压焊点相对应。设计的电路噪声较小,功耗较低,结构简单,同MEMS中心设计制作出的加速度结构芯片实现混合集成。