【摘 要】
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对于微光机械振动传感器的机—光信号转换元件——波导集成光路进行了优化设计。采用马卡提里近似法对输入输出波导的模式特性进行了具体分析。 应用马卡提里近似解析法，将
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对于微光机械振动传感器的机—光信号转换元件——波导集成光路进行了优化设计。采用马卡提里近似法对输入输出波导的模式特性进行了具体分析。 应用马卡提里近似解析法，将矩形多模波导二维自镜像简化为一维自镜像。设计了用于振动传感器机光信号转换的动态输入1×2多模干涉耦合器结构。理论计算表明，器件的差动输出光信号的线性度明显优于文献报道的结果。采用导模传输分析法得到的模拟结果同光束传播法(BPM)的数值模拟结果进行了比较，两者的光场分布近乎一致。 在经过详细的理论分析和优化设计的基础上，成功研制出了作为振动传感器转换元件的聚合物波导集成光路器件。测量结果表明，随着输入波导位置的移动，输出光功率差在量程范围内发生明显变化。
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