【摘 要】
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该文即以衰减全反射结构为研究内容,在对衰减机制的理论研究基础上,提出用这一结构来实现一种新型实时探测系统的思想,我们称之为"实时薄膜分析系统",该文对这种系统功能的实
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该文即以衰减全反射结构为研究内容,在对衰减机制的理论研究基础上,提出用这一结构来实现一种新型实时探测系统的思想,我们称之为"实时薄膜分析系统",该文对这种系统功能的实现方案进行了探讨,对器件性能指标进行了考察和分析,并尝试着这种探测系统的各种不同应用. 与传统的扫描型ATR探测方法相比,该实验系统用带有一定角宽度的光束代替原有的角度扫描,从而在微机屏幕上可同时显示标志波导模式的一组黑线,外界的工作条件变化,会导致黑线的移动,根据黑线的移动量,可精确测量出被测薄膜的一些参数.因此,这种探测系统的优势在于:1,它可实现实时测量,2,精确度较高,3,设备简单,成本低,易调节等.在薄膜工艺加工领域具有很高的研究和应用价值.
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