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利用等离子增强化学气相沉积系统(PECVD)制备含氟类金刚石(fluorinated diamond like carbon, F-DLC)薄膜,考察了工艺参数对薄膜组成、微观结构和性能的影响,探讨了薄膜微观结构与力学性能、摩擦学和表面特性之间的关系。研究了F-DLC薄膜在大气环境下的低摩擦行为,并建立了F-DLC摩擦学模型以分析其超低摩擦机理。形成以下研究成果:研究了基底偏压频率、前驱气体、基底温度等工艺参数对F-DLC薄膜结构的影响。结果表明,氟在薄膜中的存在形式有CF_3、CF_X(X