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锂离子电池于1991年实现商业化应用后,获得了飞速的发展,如今已普遍应用于3C领域。近年来,随着微机电系统和智能可穿戴设备的发展,与之匹配的电源系统显得愈加重要,因此,薄膜化和微型化便成为锂电池发展的必然趋势之一,薄膜锂电池由于其具有能量密度高、循环寿命长、安全可持续性等优点已经成为微电子能源供应的重要组成部分。正极薄膜在固态薄膜锂电池中占据着关键地位,正极在容量、倍率、循环稳定性等方面表现的好坏与否将会直接体现在整个电池之中。因此,开发性能优异的正极薄膜是固态薄膜电池的关键环节。在已开发的正极材料