X型硅压阻式压力传感器的解析模型研究

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压力传感器是一种应用极为广泛的测量和控制仪器元件,有着十分广阔的应用前景。应用MEMS技术,可以将压阻式压力传感器制作在硅材料上,构成集成化传感器,实现大批量生产并降低生产成本。 本文着重讨论以集成电路和微机械加工工艺相结合而制成的X型压阻传感器的性质。X型压阻传感器模型依赖于数值解,其解不具有普遍意义。本文首先建立了不考虑引出极的基本型X型压阻传感器的输出电压定解方程,引入摄动法,求解出基本型X型压阻传感器的输出电压的解析解。然后,在此基础上,得出X型压阻传感器的输出电压解析表达式。根据解析表达式得到的解析解与数值解基本吻合,因此,本模型对X型压阻传感器的设计有着重要的意义。
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