【摘 要】
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铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4,CZTS)薄膜太阳能电池是当前的研究热点之一。ZnO/CZTS P-N结是CZTS薄膜太阳能电池的核心,在CZTS和ZnO之间引入缓冲层可降低二者的晶格失配,提高P-N结的质量。本论文采用激光分子束外延技术,以ITO玻璃为衬底,在课题组前期制备的高质量CZTS薄膜上制备ZnO/CZTS P-N结,并在ITO玻璃上直接生长ZnS缓冲层。论文系统分析了工艺参数对ZnO和Z
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铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4,CZTS)薄膜太阳能电池是当前的研究热点之一。ZnO/CZTS P-N结是CZTS薄膜太阳能电池的核心,在CZTS和ZnO之间引入缓冲层可降低二者的晶格失配,提高P-N结的质量。本论文采用激光分子束外延技术,以ITO玻璃为衬底,在课题组前期制备的高质量CZTS薄膜上制备ZnO/CZTS P-N结,并在ITO玻璃上直接生长ZnS缓冲层。论文系统分析了工艺参数对ZnO和ZnS薄膜显微组织结构和光学性能的影响,主要研究结果如下：1)在CZTS薄膜上外延生长ZnO薄膜时
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