【摘 要】
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本文以太阳能电池生产线中的PECVD设备为研究对象，对其进行三维仿真建模与有限元分析，进而选择综合性能最优的本体材料，并对送料结构进行了机构创新，设计出符合我国企业工况的PECVD设备。此项研究为我国PECVD设备国产化提供了参考理论。全文工作和取得的成果概括如下：在测绘PECVD设备得到的二维CAD图的基础上，运用SolidWorks软件分别建立出了各个零件的三维实体模型，并将其按顺序组装成为装
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本文以太阳能电池生产线中的PECVD设备为研究对象，对其进行三维仿真建模与有限元分析，进而选择综合性能最优的本体材料，并对送料结构进行了机构创新，设计出符合我国企业工况的PECVD设备。此项研究为我国PECVD设备国产化提供了参考理论。全文工作和取得的成果概括如下：在测绘PECVD设备得到的二维CAD图的基础上，运用SolidWorks软件分别建立出了各个零件的三维实体模型，并将其按顺序组装成为装配体，从而得到PECVD设备的三维实体模型。以2024号铝合金和不锈钢作为材料，对设备中
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