【摘 要】
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该课题将研究声面波滤波器的重点内容放在了研究新型压电材料和激发谐波两方面.主要包括三个部分的内容,它们是:压电薄膜ZnO的制备;叉指电极的结构设计和频率响应的模拟;SAW
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该课题将研究声面波滤波器的重点内容放在了研究新型压电材料和激发谐波两方面.主要包括三个部分的内容,它们是:压电薄膜ZnO的制备;叉指电极的结构设计和频率响应的模拟;SAW滤波器分立器件的制作与测量.获得了在长有SiO<,2>层的Si衬底上溅射高度C轴取向的ZnO压电薄膜的工艺参数,采用Si衬底是便于今后将声表面波器件与其前端或后端的电路大规模集成.此外,从器件的测量结果可知,该课题采用的激发谐波的叉指电极结构可以显著地提高SAW滤波器的工作频率,同时降低了光刻工艺的难度.器件的中心频率达到2.1GHz,3dB带宽为95MHz,插入损耗为-31dB.因此该课题所采用的压电材料及激励谐波的叉指电极设计方法对于GHz级SAW滤波器进一步的研究有一定的参考作用.
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