论文部分内容阅读
在对生物微粒进行分析或检测时,其第一步就是将生物微粒从其所处介质中分离出来,因此一种高效、无污染的分离技术是十分关键的。与其它微纳米颗粒的分离技术相比,超声分离技术具备操作连续、可保证微粒的活性以利于后步处理,并且可分离非电性及非磁性粒子等优点,因此适用于生物微粒的分离或操纵。随着MEMS技术的迅速发展,采用微制造技术制造的MEMS器件在体积、重量、成本等方面,都具有十分明显的优势,这为超声分离器件的设计和制造带来了全新的思路。基于MEMS技术的超声分离装置可实现器件的微型化及芯片化,并为今后在同一