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光刻机是集成电路制造的关键设备,工件台系统是光刻机的核心系统之一,其运动精度直接影响光刻机的分辨率和套刻精度,而工件台的运动精度受到工件台水平向平面电机和直线电机的电机常数、平面电机的增益平衡矩阵等运动参数以及直线电机推力波动的影响。电机常数实现负载驱动力和电机输入电流之间的转换,增益平衡矩阵实现逻辑轴负载驱动力和物理轴负载驱动力之间的转换。电机常数和增益平衡矩阵都直接或间接的受到电机实际负载的影响,因为电机实际负载与理论计算负载之间存在差异,并且会随时间发生变化,所以需要对电机常数和增