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非晶硅/晶体硅异质结太阳能电池因其低生产成本和高光电转换效率而具有非常大的应用前景。氢化非晶硅薄膜(a-Si:H)是该电池中的钝化层,它的结构与性能对异质结太阳能电池的转换效率起着决定性作用。当前的实验研究主要关注沉积工艺与薄膜性能之间的关联,对于薄膜微观结构的演变缺乏深入的研究与分析,致使非晶硅/晶体硅异质结太阳能电池发展缓慢。本文采用分子动力学方法模拟研究了沉积参数和后处理对氢化非晶硅薄膜微观结构的影响,为现有实验研究补充工艺与结构的关联,得到了如下结果:(1)对晶硅衬底取向的影响研究发现:不同