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散斑干涉术是一种新型的光学测试技术,运用这项技术需要涉及激光、全息、数字图像处理等众多领域,其测量精度可达微米级,同时随着计算机技术的发展,散斑干涉术实现了自动化测量,可用于测试金属物体表面的微小变形。 本文主要应用泰曼-格林型光路获取干涉条纹图,由CCD记录物体每一次变形产生的散斑图。再利用合适的算法处理读取散斑图中的条纹信息,从而获得干涉条纹图。 为了进一步提高条纹图的对比度,需要对条纹图进行一系列的数字图像处理。再对干涉条纹进行细化处理,提取其骨架线,以提高测试精度。最后利用二维傅里叶算法实现变形物体的三维位相测量,从而获得物体的变形大小及方向。实验结果表明,经过滤波处理和条纹骨架线提取使测量精度明显提高,可达到λ/10,其相对误差小于2%。