石墨烯是一种由单层碳原子组成二维蜂巢状结构的新型碳质材料，具有高刚度和低密度的特性，是用于制作纳机电系统（NEMS）器件的理想材料。纳机电谐振器作为一种典型的NEMS器件，以其低功耗、高灵敏度等特点在传感器以及通信领域有着广泛的应用。本文针对基于石墨烯的纳机电谐振器进行研究，对其相关特性进行了分析，给出了制备工艺。主要工作如下：首先，综述了纳机电系统的定义和纳机电谐振器的国内外研究现状，并基于宏观连续体理论对纳谐振器进行的理论建模与数值计算，在此基础上对谐振器的动态特性进行研究。接着，介绍了石墨烯材料的结构特点，并对石墨烯薄层进行了物理建模，采用分子动力学方法对石墨烯纳米带进行了的弛豫、应力加载以及谐振频率进行仿真与分析。最后，基于化学气相淀积法和微机电系统加工工艺，设计了一种批量制备石墨烯谐振梁的工艺方法。本文通过对石墨烯谐振器的研究为石墨烯谐振器的设计、制作和研究奠定良好的理论和实验基础。