【摘 要】
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FTO玻璃具有良好的光电性能及耐久性,所以常被作为薄膜太阳能电池的前电极。但在实际沉积半导体Si过程中会被具有还原性的氢等离子体还原,面临光电性能恶化的问题。本文以钛酸丁酯为前驱物,采用喷雾热解法在FTO玻璃上镀覆了一层TiO_2薄膜,通过改变钛离子浓度、基板温度、喷涂时间等条件,制备了不同形貌及厚度的TiO_2/FTO双层膜。采用X射线衍射仪对双层膜的物相组成及晶体结构等进行了分析;采用场发射扫
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FTO玻璃具有良好的光电性能及耐久性,所以常被作为薄膜太阳能电池的前电极。但在实际沉积半导体Si过程中会被具有还原性的氢等离子体还原,面临光电性能恶化的问题。本文以钛酸丁酯为前驱物,采用喷雾热解法在FTO玻璃上镀覆了一层TiO_2薄膜,通过改变钛离子浓度、基板温度、喷涂时间等条件,制备了不同形貌及厚度的TiO_2/FTO双层膜。采用X射线衍射仪对双层膜的物相组成及晶体结构等进行了分析;采用场发射扫描电镜和原子力显微镜对双层膜的表面、断面形貌和粗糙度进行了表征;采用紫外分光光度计、雾度仪对双层膜的光电
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