论文部分内容阅读
浸没式光刻机浸没系统包含水处理系统(Pure Water System,PWS)、注液系统(Horizontal Compensation Water System,HCWS)、注气系统(Compensation Air System,CAS)、气液回收单元(Horizontal Air Water Extraction,HAWE)、温控模块(Temperature Control Moduel,TCM)及位姿调节分系统等各分系统,分别涉及气液纯化、流体、温控等多个领域,运行时序复杂,控制流程差异大,本文涉及的总控通讯模块(Main Control Moduel,MCM)负责各系统的协调控制,实现参量监测与设定,接口通讯,逻辑控制,数据存储,人机交互等功能。本文旨在对浸没式光刻机中浸没系统控制模块在领域专家和软件程序员之间建立一套领域特定语言(Domain Specific Language,DSL),以便浸没系统中流体、气液纯化、温控领域专家与总控软件人员的沟通与流程设计。针对当前浸没系统总控与各分系统间的逻辑控制及自动化要求,开展如下工作。1.介绍课题研究背景,分析浸没分系统组成及基本原理,阐述MCM总控通讯系统整体方案,提出课题研究内容。2.设计MCM总控通讯系统硬件平台,搭建逻辑架构,对关键元器件选型分析,完成模型设计与实物组装。3.基于DSL进行MCM控制系统软件分析并进行设计,包括浸没系统中各系统执行过程,状态切换,事件触发,系统数据等内容。采用服务器/客户端一体化方案,明确通讯机制的实现方式。4.基于DSL状态控制语言设计,包括数据交互的XML和浸没式光刻机浸没系统控制流程专用DSL。建立适用的逻辑控制及系统数据DSL文本,通过相应词法及语法规则分析,生成抽象语法树,并组装语义模型,供目标操作及代码生成。5.测试系统功能,实现浸没系统协调控制各项功能,验证数据交互XML与逻辑控制DSL的有效性。