半导体器件集成电路用键合金丝产业化技术的研究

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本论文对“键合金丝产业化技术改造”项目的研究工作作了详细的描述。我们在对国内外的键合金丝生产及研究现状进行详细分析与研究之后,确立了项目的研究内容并提出了项目的预期目标。我们认为,加强过程控制是保证微细金丝质量和批量稳定的关键所在。 本课题设置了三个方面的预期目标:质量目标、经济目标和技术目标。 目标确定以后,我们对金丝产品生产现状中表现最为突出的断丝现象进行了统计,取样以及分析。断丝的主要原因可归纳为以下四种:表面缺陷造成断丝;杂质造成断丝;孔洞造成断丝和表面附着物造成断丝。在详细地分析了与这四种原因相关的工艺环节以后,我们提出了工艺改进的试验方案,超净厂房改造和引进先进拉丝设备的投资方案及可行性分析。 项目一期工作主要如下: 对工艺试验过程和工艺改进过程的结果进行了统计、对比。 针对影响产品表面质量的主要因素进行试验与改进,具体为更换现有结晶器;更换现有旧拉丝模具;提高设备与丝材接触部位的光洁度;确定模具使用寿命;更新润滑液等;为进一步提高产品质量档次改善工艺环境,引进世界先进拉丝设备;改造厂房提高工艺环境超净级别。 针对金粉提纯过程的工艺试验与改进,重新修订金粉检测标准,对有害元素进行控制;对电解后的金粉清洗工艺加以改进,尽量去除电解液残留物质。 针对熔铸工艺的试验与改进,首先确定炉料量;重新确定搅拌、静置时间;确定精炼时间;确定拉铸温度;并调整其他熔铸工艺参数。 针对合金成分进行试验,选择最佳合金系列,确定添加元素及添加量。 针对其他工艺的试验与改进;单轴长度的试验,实现千米轴供货。室温性能试验,拉伸强度及延伸率均匀性试验;拉伸强度及延伸率均匀性与退火温度关系试验等。 经过大量细致的研究试验和工艺改进,项目一期制定的各项指标已基本完成,键合金丝产品的质量大幅度提高:基本完成质量指标;在经济上取得较高回报:2002年全年销售量(产量)预计为450公斤,提前近一年达产;在技术上取得丰硕的成果:形成了一整套拥有自主知识产权的键合金丝大生产技术。 键合金丝生产技术主要包括:金棒铸造技术;微量元素的添加技术;微细丝的拉制技术;全面的分析检测方法;连续退火-复绕技术和润滑技术。 2002年8月北京紫恒星评估有限责任公司负责组织有关专家对该技术进行了论证,主要论证意见:“有色所研发的‘键合金丝生产技术’的技术成熟度高,技术成果水平处于国内领先和国际先进的水平”。该公司也对这项技术进行了评估,评估结论为:委托评估的键合金丝生产技术的评估值为763.23万元。2002年9月“键合金丝生产技术”被作为无形资产入股北京达博焊料有限责任公司,成 北京工业大学工程硕士学位论文一功地将科技成果转化为现实生产力,也为该技术的充分发挥提供了更广阔的空间。
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