党的十九大明确指出“创新是引领发展的第一动力”,鼓励以创新抢占竞争制高点,其中,高技术产业作为突破经济增长资源瓶颈、实现产业结构转型的重要产业,其技术创新活动和创新效率的研究已经受到国内外各界关注。但在知识溢出效应的影响下,高新技术产业技术创新活动的成果十分容易被模仿,新研发的产品很难在长时间保内始终保持优势地位,因此难以收到理想的回报。另一方面,新产品的研发需要大量的前期资金,且技术创新是一项风险系数很高的活动,预期研究成果未必能实现,因此,大部分主体在技术创新过程中都持谨慎的态度,甚至会为了避免失败而选择放弃某些技术的研发。技术创新活动外部性会导致市场失灵,在这种情况下,政府往往会采取多种措施进行干预,在众多手段中政府对技术创新活动的R&D补贴就是直接的一种。我国政府为调动高技术产业技术创新的积极性,提升行业创新意识与创新效率,对技术创新活动提供了大量的R&D补贴支持,通过减少企业研发成本来激励企业提高创新效率。在政府的大力扶持下,高技术产业创新投入不断增加,在新产品和专利也有了数量上的飞跃。然而,这些来自政府的R&D补贴是否真正对高技术产业技术创新效率产生了激励效应,这是本文将要探讨的问题。为了更有效探究政府的R&D补贴对高技术产业技术创新效率的影响作用,本文在明确政府R&D补贴、高技术产业和技术创新效率的概念以及了解相关理论的基础上,在对我国高技术产业技术创新活动与政府R&D补贴现状进行分析后,首先,运用DEA Super-SBM模型测度我国高技术产业技术创新效率,深入分析各区域创新效率发展趋势,随后,选择面板Tobit模型对政府R&D补贴与高技术产业技术创新效率影响关系进行实证,同时考虑区域间差异,将全国划分为东部地区和非东部地区进行进一步研究。本文主要研究结论如下:(1)我国高技术产业技术创新效率从2009-2016年呈现逐步上升趋势,但仍处于轻度DEA无效,有一定的改善空间;相比于纯技术创新效率,规模效率偏低是技术创新综合效率损失的主要原因;各区域间的高技术产业技术创新效率存在显著差异,东部地区的高技术产业技术创新效率领先,紧随其后的则是西部、中部和东北地区。(2)政府R&D补贴对高技术产业技术创新效率提升具有正向促进作用,并进一步分析中显示出这种促进作用在非东部地区更加优异;其余变量中企业研发投入产生了显著的积极影响,创新人才投入效果不显著,而外资进入程度和企业规模对高技术产业技术创新效率的影响存在着区域差异。最后基于以上分析提出建议:(1)加强区域的协同合作,形成良性的知识溢出与产业转移协作机制,实现全国整体高技术产业创新效率的共同提高;(2)合理配置政府R&D补贴,向非东部地区倾斜,同时加强补贴资金的去向和使用情况的监管,确保政府R&D补贴资金发挥真正效用;(3)根据影响技术创新效率的其他因素,扬长避短,强化企业研发投入、创新人员投入、外资引入和企业规模等因素对技术研发创新效率的促进作用,降低资产投入与研发人员的错配,营造良好的技术创新环境。