【摘 要】
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论文中采用光学测量和电学测量相结合的方法来研究SO气敏传感器,选用SnO和VO作为气敏材料,在O/Ar气氛中,在室温基底上,分别通过溅射Sn和VO靶获得气敏薄膜.实验中建立了一套气
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论文中采用光学测量和电学测量相结合的方法来研究SO<,2>气敏传感器,选用SnO<,2>和V<,2>O<,5>作为气敏材料,在O<,2>/Ar气氛中,在室温基底上,分别通过溅射Sn和V<,2>O<,5>靶获得气敏薄膜.实验中建立了一套气敏试验装置和测试装置,改造了一个真空室,使之对敏感薄膜具有可控的加热装置、在线光学和电学参量测量装置和可控的通气排气装置.自行设计了四探针法、伏-安法、电桥法等测量装置来检测薄膜的方块电阻.气敏薄膜的结构在热处理过程中通过控制不同的热处理温度、热处理气氛以及热处理时间得到调整.研究中发现在具有气敏特性的薄膜中,一般都是混合多晶结构,对SnO<,2>薄膜,膜层中除了SnO<,2>主要成分以外,还有一定量的SnO组分;对V<,2>O<,5>薄膜,膜层中的主要成分为V<,2>O<,5>,同时薄膜中还有一定量的VO<,2>和V<,4>O<,7>晶粒.论文过程中也为气敏传感器器件的实验做了一定的工作,并提出了光导型和电导型气敏传感器器件的实现形式.通过该论文的工作,建立了一套制备和测试气敏薄膜的实验装置,积累了大量有用的实验数据,为进一步研究SO<,2>薄膜气敏传感器奠定了基础.
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