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该文对表面形貌测量若干基本理论进行了详细的研究.这些理论包括表面测量取样理论、表面评定中线理论、快速滤波理论、微分轮廓的精确算法以及仪器数学模型.
表面形貌测量若干基本理论的研究
【摘 要】
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该文对表面形貌测量若干基本理论进行了详细的研究.这些理论包括表面测量取样理论、表面评定中线理论、快速滤波理论、微分轮廓的精确算法以及仪器数学模型.
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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哈尔滨工业大学
【发表日期】
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1997年期
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