【摘 要】
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本课题根据被动阀微泵的工作原理,提出了一种基于MEMS技术具有V型微阀的新型微驱动器,对微驱动器结构中的PZT复合薄板、微阀的制作、特性进行了工艺模拟,设计了相关制作工艺
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本课题根据被动阀微泵的工作原理,提出了一种基于MEMS技术具有V型微阀的新型微驱动器,对微驱动器结构中的PZT复合薄板、微阀的制作、特性进行了工艺模拟,设计了相关制作工艺及版图尺寸,并实现了微驱动器。通过理论分析给出方形PZT复合薄板的驱动电压与挠度、复合薄板的厚度与挠度,复合薄板厚度与固有频率的关系,为方形硅杯结构微系统器件的理论与实验的进一步比较分析提供了参考依据。在研制过程中发现V型微阀设计制作的关键因素是硅各向异性腐蚀技术与设计尺寸的关系,并给出了新型V阀微驱动器的流量、背压等测试方法。结果证明采用MEMS技术研制的新型V阀微驱动器的工艺方案可行,工艺简单、成本低、体积小,尤其适用于生物医学领域。
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