随着电子、光学等行业的快速发展,对于单晶硅、硬质合金等硬脆材料的加工表面质量及加工效率提出了越来越高的要求。这些硬脆材料一般均由研、磨、抛加工完成,其中可实现高效率、超光滑表面加工的ELID超精密磨削方法受到了科研与企业界的广泛重视。ELID具有效率高,精度高,表面质量好,加工装置简单及加工材料适应性广等优点,尤其对于陶瓷、硬质合金等硬脆材料的高效超精密加工具有独特的优越性。这种先进的磨削加工技术将成为今后超精密磨削加工的主要发展方向与手段之一。本文重点分析了ELID磨削过程中砂轮表面氧化膜的作用机理,经分析得出:ELID磨削加工过程中的电压电流值的大小可以表征氧化膜的状态,并通过一系列的工艺实验研究了磨削电流值的大小与砂轮磨削效果之间的关系。在实现ELID磨削加工状态准确识别的基础上,针对ELID磨削过程的非线性和时变性,通过MATLAB仿真制定模糊控制规则,并采用单片机控制技术开发出了基于模糊控制的ELID磨削智能加工系统。本文将智能技术和微机技术与ELID磨削技术相结合,在积累加工经验,优选加工参数的基础上,研制了一个能感知加工过程变化,并实时控制加工过程的ELID加工系统。该加工系统以优化加工过程、提高工艺指标、提高自动化水平为目标。最后,采用研制的ELID磨削智能加工系统进行了对硬质合金的磨削实验,结果显示相对于原有系统,智能加工系统的动态响应以及稳定性都有明显提高。