【摘 要】
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微图形的制备在现代电子工业中占有重要的地位,微图形结构本身能够直接作为功能器件用于电子器件、探测器、反应器等方面,还能够作为构造其他结构的模板,例如光掩模板、进一
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微图形的制备在现代电子工业中占有重要的地位,微图形结构本身能够直接作为功能器件用于电子器件、探测器、反应器等方面,还能够作为构造其他结构的模板,例如光掩模板、进一步的刻蚀、金属蒸镀、离子植入等等.聚酰亚股是一种电子工业用高性能聚合物材料,其表面的金属化与微图形制备有着广泛的应用.本文主要就聚酰亚胺表面化学镀微图形的制备进行了一些研究,主要内容如下:(1)利用表面改性的方法在聚酰亚胺表面制备出表面束缚的银纳米粒子.通过表面水解和离子交换的方法在聚酰亚胺表面掺杂银离子,在热处理下水解的聚酰亚胺重新亚胺化,同时银离子被还原成金属银并在薄膜表面凝聚成纳米粒子.这些银纳米粒子可以直接作为化学镀的活性种和镀层的粘附促进剂,利用在银粒子表面自组装的硫醇分子层作为简单的光阻抗材料,可以在聚酰亚胺表面获得高精度的化学镀铜微图形镀层.(2)利用微接触印刷的方法在含硅聚酰亚胺的表面实现了化学镀金属微图形.在聚酰亚胺主链中引入硅氧烷的成分,使其能够在不必进行表面改性的情况下直接被印章传递的硅烷分子图形化.催化剂粒子可以选择性地粘附在硅烷定义的区域,经过化学镀后产生金属微图形.由于在聚酰亚胺中引入了少量硅氧烷成分,对原有的高性能不会有太大影响,而其表面性质获得了改善.(3)利用紫外曝光的方法在基片表面制备出纳米银/聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)复合材料的微图形.透过光掩模板的紫外辐射使PVP固化在基片的表面,进一步曝光使掺杂其中的银盐还原成银纳米粒子,这些银纳米粒子被限制在掩模板定义的区域内.这种方法可运用在其他与PVP相关的纳米粒子制备中.(4)利用激光直写和化学镀的方法在聚酰亚胺材料表面制备铜微图形.分别采用含银的聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)薄膜和表面掺杂银离子的聚酰亚胺本身作为化学镀活性种的前驱体,利用聚焦的激光束在聚酰亚胺基片表面固定活性种,经化学镀后获得了铜微图形.
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