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ZnNb2O6晶体具有铌铁矿结构,属正交晶系,用作微波介电材料,表现出很好的微波介电性能:介电常数εr=25.0,品质因数Qf=83700 GHz,谐振频率温度系数τf=-56×10-6/℃,而且烧结温度仅为1150℃,与其他微波介质陶瓷相比,具有烧结温度低、介电性能优良、成本低等优点,是制备高可靠、高性能、低成本微波介质器件的极佳候选材料。本文采用传统固相法制备了ZnNb2O6基体系微波介质陶瓷,对ZnNb2O6基体系微波介质陶瓷进行了系统的研究。 本研究主要内容包括:⑴研究了预烧温度对ZnNb2O6陶瓷的相组成、微观结构与微波介电性能的影响规律。结果表明:预烧温度的改变对陶瓷的物相组成基本没有影响;适当的提高预烧温度,有利于晶粒的发育完整,从而获得晶粒尺寸大小均匀一致的致密陶瓷体;经950℃预烧2h的ZnNb2O6粉体所制备的陶瓷材料,在1170℃烧结保温4h可获得较好的微波介电性能:εr=24.15,Qf=69160 GHz,τf=-78×10-6/℃。⑵针对ZnNb2O6陶瓷介电常数较低、谐振频率温度系数呈较大的负值这一特点,利用固相反应法,向ZnNb2O6粉体添加等摩尔的ZrO2制备出了ZnZrNb2O8陶瓷,以期提高体系的介电常数,并适当的调节τf,最后得到在1200℃烧结4h的微波介电性能为:εr=28.46,Qf=49361 GHz,τf=-68.2×10-6/℃。在此基础上,研究了Mg2+对 ZnZrNb2O8体系陶瓷中的取代改性,结果表明,不同 Mg2+取代量对Zn1-xMgxZrNb2O8(x=0.1,0.2,0.3,0.4)陶瓷的烧结性能、物相组成、微观结构及微波介电性能有不同程度的影响。当x=0.2时,Zn0.8Mg0.2ZrNb2O8陶瓷经1230℃烧结4h可获得较佳的微波介电性能:εr=27.55,Qf=58731 GHz,τf=-66.68×10-6/℃。⑶添加具有较大正值谐振频率温度系数的 TiO2进一步调节Zn0.8Mg0.2ZrNb2O8陶瓷体系的频率温度系数,通过研究 TiO2的添加量对(1-x) Zn0.8Mg0.2ZrNb2O8-x TiO2(x=0,0.2,0.4,0.5,0.6,0.8)陶瓷体系的烧结性能、物相组成、微观结构与微波介电性能的影响,获得综合性能较好的微波介质陶瓷。组分为0.4Zn0.8Mg0.2ZrNb2O8-0.6TiO2的陶瓷在1170℃烧结4h获得了较佳的微波介电性能:εr=35.3,Qf=42474 GHz,τf=-40.76×10-6/℃。