【摘 要】
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随着超大规模集成电路中器件和互连线的尺寸不断减小,如何制备厚度薄且具有良好的阻挡性能及电学性能的扩散阻挡层变得越来越具有挑战性。向Cu膜中直接加入少量合金元素来制备Cu种籽层的无扩散阻挡层结构成为了该领域的重要研究内容。董闯、张杰等人建立的Cu-Ni基固溶体团簇模型将固溶体结构分解成团簇和连接原子两部分。如果第三组元M,与Ni的混合焓为负,则形成M作为中心原子,Ni原子占据第一壳层的CN12立方八
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随着超大规模集成电路中器件和互连线的尺寸不断减小,如何制备厚度薄且具有良好的阻挡性能及电学性能的扩散阻挡层变得越来越具有挑战性。向Cu膜中直接加入少量合金元素来制备Cu种籽层的无扩散阻挡层结构成为了该领域的重要研究内容。董闯、张杰等人建立的Cu-Ni基固溶体团簇模型将固溶体结构分解成团簇和连接原子两部分。如果第三组元M,与Ni的混合焓为负,则形成M作为中心原子,Ni原子占据第一壳层的CN12立方八面体团簇(Ni12M1)结构。连接原子指的就是占据团簇外部的原子,通常与团簇原子成弱的混合焓
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在船舶工程领域,结构振动和噪声预报及其控制是一项十分重要的研究课题。设计时计算分析模型的保真度和生产时产品的变异性导致了结构动态特性的变化,在工程实际中不可避免地要考虑结构响应的变异性。在水下结构振动声辐射的设计优化中,设计参数和系统响应之间的关系需要复杂费时的数值计算才能得到,如果直接将这些数值计算模型用于设计优化,往往会由于计算量过大而无法实施。代理模型可以用来代替高精度计算模型进行实时分析。
立管是海洋平台中非常重要但又薄弱的子系统,在洋流作用下,立管由于漩涡的泄放而产生涡激振动,从而缩短其使用寿命或者直接导致结构的破坏。涡激振动一直以来都是工业界和学术界研究的热点和难点。本文借助离散涡方法和有限体积法,对悬链线立管的涡激振动问题进行了时域数值模拟,试图揭示涡激振动的一些有趣的现象。离散涡方法是近年来发展起来的适用于高雷诺数流场的一种CFD方法,它具有概念清晰,可以不依赖于网格计算等一
中频是从低频向高频的过渡频段,结构振动在此频段内兼具两个频段的振动特征。因此在使用确定性方法和统计性方法进行分析的时候,都无法得到正确的结构振动响应。本论文针对点焊板梁结构,在板的阻尼效果很强时,基于杂交有限元和统计能量方法提出了一种中频振动响应的等效阻抗计算方法,简化了计算步骤。当满足假设条件时,此方法能够准确的预报结构中频响应。复杂振动系统的中高频振动响应可视为各子系统中直接场和混响场相互作用
压电微悬臂梁集成了传感和执行功能,既可致动微悬臂梁,又可探测微悬臂梁的位移量,以其结构简单、易于微型化、频率响应高等特点在原子力显微镜中得到广泛应用。本课题组设计了一种新型压电微悬臂梁探针,但是在工艺上出现硅尖不易获得、PZT薄膜不容易腐蚀干净等问题,在本文中提出了解决方案,从薄膜性能的优化到探针制作工艺的改进,并对压电微悬臂梁探针进行了频率测试。为了优化PZT薄膜的性能,在实验中利用溶胶-凝胶法
本文基于自组装原理,采用颗粒迁移通量模型研究了颗粒在悬浮组装液内的运动规律,利用正交实验法研究了颗粒在液相中的浓度分布规律,最后设计实验对颗粒浓度进行验证并对三维自组装体表面形貌进行表征。根据对流换热理论,分析模型中应考虑的流体物理性能指标,根据颗粒迁移通量理论对悬浮颗粒的运动情况进行理论推导得到颗粒分布规律,为研究颗粒的运动规律提供了理论依据。本文采用大涡模拟的湍流模拟方法使N-S方程封闭,建立
摩擦磨损是机械零件失效的主要形式之一。由摩擦引起的磨损、润滑、材料与能源消耗等一系列摩擦学问题普遍存在并对社会、经济的发展产生了巨大影响。一般来说,降低材料的摩擦磨损的主要途径有(1)合理的选择材料与研制耐磨材料；(2)润滑；(3)表面处理；(4)改进结构设计,提高加工和装配精度。本文以提高材料本身性能、构造材料表面仿生微结构为出发点,制备了PET/高岭土纳米复合材料,并对其复合微球进行了三维自组
ZnO是新一代的Ⅱ-Ⅵ族宽带隙半导体材料,具有纤锌矿晶体结构,室温下禁带宽度为3.37eV,激子束缚能为60meV,理论上可以实现室温下的受激发射,被认为是未来紫外发光器件的理想材料。ZnO薄膜具有良好的透明导电性,压电性,光电性,压敏性,因此具有广泛的应用前景。自从1997年Tang等人报道了ZnO薄膜的近紫外受激发射现象以来,ZnO再次成为当今半导体材料研究领域的热点。本文采用两步水溶液法,分
等离子体清洗作为一种新兴清洗技术,在满足金属零件清洗的需要,代表清洗技术高效、无污染、低能耗等发展趋势的同时,又具有自身的特点和优势,从而越来越受到国内外学者的高度重视。等离子体清洗是一种利用等离子弧能量将表面的污垢去除的绿色清洗方法。橡胶模具是橡胶硫化过程中所使用的重要工具,它的优劣直接影响橡胶制品外在质量甚至使用寿命及安全性。为了保证橡胶制品的外观质量,必须对结垢的模具定期清洗。因此等离子体清
微纳米薄膜材料广泛应用于MEMS(微机电系统)中,全面了解薄膜材料的热物性对于MEMS热设计十分重要。而薄膜材料的热特性由于量子效应、表面效应等的存在产生了明显的尺寸效应,常常与公布的体材料的热特性很不相同。各国的研究人员提出了多种针对不同物质材料和结构的测试方法,致力于不断提高薄膜材料热物性的测试精度。传统薄膜热物性测量实验通常采用分立仪表搭建,实验中各个仪器的手工操作和实验数据记录过程较繁琐,