【摘 要】
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薄膜膜厚测量是磁控溅射工艺薄膜制备技术的重要组成部分，它会提高预镀制薄膜的质量，增加磁控溅射镀膜机的薄膜稳定性。本文阐述了基于FPGA的石英晶体法测量膜厚的测量板卡的设
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薄膜膜厚测量是磁控溅射工艺薄膜制备技术的重要组成部分，它会提高预镀制薄膜的质量，增加磁控溅射镀膜机的薄膜稳定性。本文阐述了基于FPGA的石英晶体法测量膜厚的测量板卡的设计。本文从石英晶体π网络测量膜厚的理论出发，重点研究了DDS信号源的设计、AD模数转换、FPGA逻辑结构设计、PCI总线设计，完成了系统的各级硬件电路设计并通过仿真验证了系统的性能。
π网络测量膜厚是在基片与石英晶片在同等条件下将膜厚变化量转化成谐振频率变化量，并通过石英晶体π网络测量确定频率变化量的过程。硬件各部分的主要芯片是AD9854、ADS8364、PCI9054和EP1C12Q等。FPGA作为核心处理器件使得本系统具有了很好的适应性、可扩展性和可调试性。进而方便了膜厚镀膜过程中薄膜膜厚参数的控制。本文通过altum designer对硬件电路进行了PCB版图设计，使用开发板对部分硬件电路设计和逻辑控制进行了验证。
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