【摘 要】
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随着纳米技术的发展,人们越来越需要测量和操纵很小的部件。以扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)为代表的扫描探针技术的出现适应了这个要求。但是,由于用作扫描器的材料——压电陶瓷自身特性的限制,使得仪器的扫描范围不能做得很大,一般不超过几百μm,这大大限制了扫描探针技术的应用范围。因此,能实现大范围、高精度移动和定位的纳米测量机将是未来微/纳领域不可或缺的工具。纳米测量机主要由定位平台和测
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随着纳米技术的发展,人们越来越需要测量和操纵很小的部件。以扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)为代表的扫描探针技术的出现适应了这个要求。但是,由于用作扫描器的材料——压电陶瓷自身特性的限制,使得仪器的扫描范围不能做得很大,一般不超过几百μm,这大大限制了扫描探针技术的应用范围。因此,能实现大范围、高精度移动和定位的纳米测量机将是未来微/纳领域不可或缺的工具。纳米测量机主要由定位平台和测头两部分组成,通过配合不同类型的传感测头,实现不同方式的测量。本文以现有德国SIS(Surfa
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