半导体激光器光束准直微透镜的研究

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本文提出了一种利用微透镜对半导体激光器光束进行准直的方法。同时也介绍了微透镜制作技术,进而对微透镜准直系统进行设计,并给出了设计结果。 本文首先在第二章对半导体激光器输出光束的性质进行研究,为准直系统的设计奠定基础。然后在第三章对微透镜的制作工艺进行研究,以明确准直系统的加工方法与加工精度。在第四章,结合前两章的结论利用ZEMAX光学设计软件对半导体准直方案进行了设计。最后,进行全文总结,并对本文的进一步研究做出展望。本文提出的这种半导体激光器光束准直的新方法,具有一定的创新意义与实用价值。
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