随着同步辐射光学的迅速发展,为纳米级的高空间分辨实验提供了可能,这对同步辐射光束线聚焦技术提出了更高的要求。同步辐射中使用的辐射光主要位于X射线波段,目前国内外多使用压弯镜以掠入射的方式进行X射线的聚焦。本文围绕同步辐射聚焦镜压弯机构的设计,介绍了压弯机构设计理论,完成了压弯机构的设计和校核,分析了理论面型误差对压弯镜面型精度的影响,提出了力矩加多点力的重力补偿方法。具体内容为:1.根据压弯机构设计理论,计算了压弯镜的有效长度、最大力矩和理论面型,完成了压弯机构的设计和校核。压弯机构垂直聚焦的有限元分析表明,在使用力矩加一点力进行重力补偿后,压弯镜面型斜率误差减小到0.102 μrad。2.推导了压弯镜理论面型的计算过程,通过压弯镜面型理论值与有限元模拟值的对比,分析了压弯半径、镜子宽度、镜子高度和横截面剪力对面型误差的影响。压弯镜面型理论值与有限元模拟值的对比表明,压弯半径越大斜率误差越大;横截面剪力越大斜率误差越大;当镜子宽长比或高长比较大时,压弯镜不满足长直梁的假设,面型误差迅速增大。3.推导了压弯镜自重导致面型误差的理论计算过程,提出了力矩加多点力的重力补偿方法。压弯镜自重导致的斜率均方根误差为4.693μrad,采用力矩加一点力、力矩加两点力、力矩加三点力和力矩加四点力进行重力补偿后,自重导致的斜率误差分别为0.085 μrad、0.028 μrad、0.012 μrad、0.007 μrad。力矩加多点力与多点力补偿方法的对比表明,在镜子两端使用力矩进行重力补偿后,所需补偿力大小相应降低,面型斜率误差明显减小,力矩加一点力、力矩加两点力、力矩加三点力和力矩加四点力补偿后的斜率误差分别为没有力矩补偿时的36%、52%、61%、68%。力矩加多点力补偿重力的方法明显优于多点力补偿重力的方法。