不锈钢材料在海水淡化、医疗机械等领域应用广泛,但不锈钢在腐蚀性阴离子尤其Cl^-溶液中容易发生点蚀,导致器件的破损甚至报废,因此提高不锈钢的耐腐蚀性能显得尤为重要。纳米碳薄膜具备优异的化学稳定性、良好的疏水性及导热性,在材料的腐蚀防护方面应用广泛。本文利用等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）在不锈钢表面原位生长纳米碳薄膜,研究工艺参数对纳米碳薄膜形貌及结构的影响,并分析其生长机理。研究不锈钢表面纳米碳薄膜的抗腐蚀性能,揭示其抗腐蚀机理。本文通过PECVD的方法在不锈钢表面原位生长垂直石墨烯薄膜（VFG）、碳纳米管薄膜（CNT）。通过优化工艺参数,得到生长温度650℃,气体压强500Pa,Ar:CH₄气体流量比50:20,生长时间1小时,不锈钢表面原位生长垂直石墨烯薄膜致密程度最好;生长温度650℃,气体压强500 Pa,Ar:CH₄气体流量比50:10,生长时间1小时参数下不锈钢表面生长碳纳米管薄膜均匀度、密集程度最佳。SS316L-VFG润湿角136.6°,电化学测试其腐蚀速度为2.6×10^-2mm/year,相比不锈钢润湿角仅75.0°,腐蚀速度2.1×10^-1 mm/year,垂直石墨烯薄膜疏水性更佳,腐蚀速度提高一个数量级。SS316L-VFG润湿角达到152.2°,表面超疏水,腐蚀速度为1.4×10^-2 mm/year。实验结果证实制备得到的不锈钢表面碳纳米管薄膜抗腐蚀性能优于垂直石墨烯薄膜。