智能制造是我国在智能经济转型时代下的一场再工业革命。它以新一代信息技术为基础,促使人类社会、网络世界和物理世界无缝对接,进而实现从“中国制造”到“中国智造”的重大转变,推动制造业的转型升级和经济的高质量发展。虽然国家不断推出各类利好政策以支持智能制造业的发展,在部分关键领域和技术方面,我国智能制造装备产业也已经取得了长足进步,但是仍存在核心技术薄弱、创新能力不足、发展进度滞后等问题。这就需要从不同思路进行探索,进而掌握好智能制造装备产业创新的具体走向。正外部性是企业创新的特点,为了有效实现企业创新目标,近年来政府多次进行政策引导。其中,税收优惠政策因其公平、广泛、寻租风险小和激励扭曲作用小等特点,成为业内外众多专家所提倡的有效措施。完善税收优惠政策,对于智能制造装备产业的创新起着不可或缺的作用。因此,深入探索税收优惠对智能制造装备产业实质性创新的影响,对推动智能制造发展具有重要意义。本文以不同税收优惠方式为切入点,以实质性创新数量和实质性创新质量为指标对企业的创新效率进行衡量,从理论和实证两个方面讨论了企业所得税优惠对智能制造装备产业实质性创新效率的影响。本文主要是按照“税收优惠影响企业实质性创新的机制——通过现状分析发现问题——进行实证分析——得出研究结论并提出建议”的思路展开了研究。第一部分的主要内容是,介绍本文的研究背景和意义,通过归纳整理国内外相关文献,以明确本文研究目的。第二部分主要介绍了相关理论基础与作用机制,对智能制造装备产业、企业所得税优惠、实质性创新的概念进行了界定,并介绍了文中涉及的相关理论以及作用机制。第三部分对智能制造装备产业的发展现状进行了分析,整理了相关的税收优惠政策,简要说明了目前税收优惠中存在的问题。第四部分为实证分析,利用2012-2020年智能制造装备产业上市公司的相关数据,通过构建固定效应模型进行了研究,得出以下结论:第一,企业所得税优惠能够有效促进企业的实质性创新。第二,不同的税收优惠方式其作用效果也不相同,其中税率优惠的作用效果尤为显著。第三,对处于不同生命周期的企业,税收优惠的作用效果存在差异。税率优惠和固定资产加速折旧对成长期和衰退期企业的创新具有更加明显的激励效果,而研发费用加计扣除对成熟期企业的作用效果更好。第四,税收优惠对不同区域的企业的作用效果存在差异。税率优惠和固定资产加速折旧对西部地区的企业的促进作用最为显著,而研发费用加计扣除对中部地区的企业的激励作用更强。第五部分进一步分析了实证结果,并提出了相关税收政策建议。