高技术产业具有知识和技术高度聚集的特点,其快速发展有利于实现我国现代产业的转型升级以及体系构建。经济的加速发展以及转型升级同样也需要高技术产业的快速发展。可以说,高技术产业是对国民经济发展有极大促进作用的战略性产业。以2009-2019年为考察期,选取我国26个省份高技术产业为研究样本,从现实角度出发,对创新活动进行划分,分别为研发阶段和转化阶段。采用三阶段DEA模型（Data Envelopment Analysis）进行实证分析,在第二阶段构造相似SFA模型（Stochastic Frontier Approach）,在第三阶段采用Bootstrap方法来修正效率得分。之后,在进行动态分析时选取Malmquist指数法。最后,根据效率值得分构建面板Tobit模型和分位数回归模型,分析影响效率的具体因素。研究表明,研发阶段创新效率高于转化阶段,高技术产业在科技成果转化为经济产出环节薄弱。环境变量对产业创新有显著影响,且管理无效率是导致创新资源投入冗余的主要因素。银行业聚集对整个创新过程为负向影响,保险业聚集对创新活动有促进作用,风险投资聚集主要对研发阶段创新活动有促进作用,人员聚集对转化阶段创新活动有抑制作用,资金聚集对研发阶段创新活动有促进作用,产业聚集对转化阶段创新活动有促进作用。最后,从企业、社会、政府等方面对产业发展提出具体建议。