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表面等离激元是金属和介质的界面处自由电子在外电场作用下产生的集体振荡。由于表面等离激元具有突破衍射极限传播和局域场增强等独特性质,表面等离激元光子学在众多研究领域的应用受到了极大关注。微纳结构加工技术的高速发展让高精度、高可控性的纳米器件加工成为可能,使我们可以通过微纳加工方法实现具有高可调控性和高产率的表面等离激元器件。本论文主要研究表面等离激元器件的微纳加工,介绍了金纳米线及其网络结构、二维周期性金纳米孔结构、双层金光栅结构的微纳加工方法和工艺探索过程。进一步我们对其中两类器件的表面等离激元特性