压电微悬臂梁共振检测系统的研究

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【摘要】

：

作为一种高灵敏度的传感器件,微悬臂梁的应用极为广泛,最初是应用于原子力显微镜(AFM)上,它的使用使AFM不仅具有原子级分辨力的显微功能,还能够探测探针和样品间的原子级作用力。微悬臂梁有两种工作模式,即弯曲模式和共振模式。在共振模式下,微悬臂梁具有很宽的动态范围和很高的分辨率,因此利用微悬臂梁共振频率进行检测的方法越来越受到人们的关注。根据理论分析,微悬臂梁的共振频率与其有效质量的1/2次幂成倒数

【作者】

：

王忠顺

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2006年01期

【关键词】

：

微悬臂梁压电微悬臂梁压电薄膜共振频率扫频

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