氧化铝陶瓷微波金属化设计及机理研究

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针对氧化铝陶瓷金属化,以微波加热、界面局部升温、和埋碳粉保护等工艺为技术特征,采用Cu粉与Mo-Mn金属化两种体系,借助XRD, SEM以及EDX测试等分析手段,研究了加热工艺、金属化浆料、保护措施对微波金属化性能的影响规律。在Cu粉金属化体系中,金属粉末(Cu粉)、碳粉(C)与碳化物(SiC)互相搭配,制得不同金属化料浆。研究结果表明:含有10 wt%碳粉的配方在改进工艺下取得实验条件下最佳的金属化效果;碳化物(SiC)的加入可以增强了金属层和基片之间的机械嵌合力,但也会引入气孔缺陷。在活化Mo-Mn法体系中,含有60 wt%,75wt%Mo粉的配方,在埋碳粉保护、氧化气氛中加热条件下取得较好的金属化效果。对反应粘接机理从理论上进行了论述:发现Cu粉体系微波金属化过程中,主要以扩散浸润为结合机理,过多的C粉会影响浸润性。而活化Mo-Mn体系微波金属化过程中,以玻璃相和熔融金属的迁移为主。
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