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柔性是绝大多数聚合物材料特有的性质，聚合物电子纸、电子皮肤、柔性显示等器件成为近年来研究的热点。柔性芯片的集成化，要求在同一芯片上实现信号的传感、控制和处理等多种功能。光开关是光通信领域的重要器件，是芯片实验室的重要组成部分。柔性光开关的研究对实现柔性便携器件和薄膜芯片实验室具有重要意义。NOA(Norland Optical Adhesive)系列材料是一种光固化的聚合物材料，材料在通信波段具有较低的损耗，同时特定型号的材料具有良好的柔韧性。本论文利用以上性质，选取NOA材料制备柔性热光开关，通过对材料的表征、工艺条件的研究和器件结构的设计，制备了基于NOA材料的柔性热光开关。本论文的主要工作如下：1、对紫外固化NOA材料进行表征和工艺研究。调节匀胶机的转速和曝光箱的曝光时间摸索出了NOA材料的最佳成膜条件，在4500r/min的转速下，曝光时间7min时，在25μm×25μm的范围内，NOA薄膜表面的RMS（Root MeanSquare）值为1.18nm；利用椭偏仪测量并拟合了NOA材料的折射率，在1550nm波长下，NOA61的折射率为1.570，NOA88的折射率为1.559；改变偏置功率与天线功率摸索出ICP（Inductively Coupled Plasma）刻蚀NOA材料的最佳条件，当射频功率为200W，天线功率为100W时为ICP刻蚀的最佳条件。2、采用NOA材料制备了硅基脊形波导器件和马赫-曾德尔（M-Z）型热光开关器件。利用半导体工艺（旋涂、蒸铝、光刻、显影、ICP刻蚀）制备脊形波导器件和M-Z型热光开关器件，对两种器件分别进行测试。在1550nm波长下，长2.2cm的硅基脊形波导的插入损耗为8.3dB；M-Z型硅基热光开关器件的消光比为11dB，驱动功率为85mW，开关上升时间为1.085ms，下降时间为489.5μs。3、利用NOA材料制备了柔性倒脊形波导器件和柔性M-Z型热光开关器件。首先应用SU8材料设计并制备了纳米压印模板，采用纳米压印法制备了长2cm的柔性倒脊形波导器件；研究了处理柔性波导端面的方法和条件，分别应用划片机、ICP刻蚀机、飞秒激光器、准分子激光器对波导端面进行解理，在对比解理后的波导损耗结果后，最终确定准分子激光器在电压为32kV，频率为15Hz时端面效果最佳，在1550nm波长下，其插入损耗为14.3dB；制备了柔性电极器件，在器件保持弯折的情况下测试电极，其性能良好，同时验证了电极性能随时间变化的趋势，三个月后电极改变率在2%以内；制备了M-Z型柔性热光开关器件，器件的消光比为11dB，驱动功率为80mW，开关上升时间为1.987ms，下降时间为2.712ms。